Chemische und elektrochemische Methoden zur Oberflächenbearbeitung von galvanogeformten Nickel-Mikrostrukturen
Im Rahmen dieser Arbeit wurden drei verschiedene (elektro-) chemische Verfahren sowie die Verfahrenskombination Läppen und Elektropolieren zur Oberflächenbearbeitung von LIGA-Nickel-Mikrostrukturen in Hinblick auf die Verringerung der Rauheiten und die Reduzierung der Schichtdickeninhomogenität u...
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Format: | Book Chapter |
Published: |
KIT Scientific Publishing
2010
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Subjects: | |
Online Access: | Get Fullteks DOAB: description of the publication |
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|
LEADER | 01655naaaa2200289uu 4500 | ||
---|---|---|---|
001 | doab_20_500_12854_43097 | ||
005 | 20210211 | ||
020 | |a KSP/1000019375 | ||
020 | |a 9783866445482 | ||
024 | 7 | |a 10.5445/KSP/1000019375 |c doi | |
041 | 0 | |a German | |
042 | |a dc | ||
100 | 1 | |a Kißling, Stephanie |4 auth | |
245 | 1 | 0 | |a Chemische und elektrochemische Methoden zur Oberflächenbearbeitung von galvanogeformten Nickel-Mikrostrukturen |
260 | |b KIT Scientific Publishing |c 2010 | ||
300 | |a 1 electronic resource (II, 109 p. p.) | ||
506 | 0 | |a Open Access |2 star |f Unrestricted online access | |
520 | |a Im Rahmen dieser Arbeit wurden drei verschiedene (elektro-) chemische Verfahren sowie die Verfahrenskombination Läppen und Elektropolieren zur Oberflächenbearbeitung von LIGA-Nickel-Mikrostrukturen in Hinblick auf die Verringerung der Rauheiten und die Reduzierung der Schichtdickeninhomogenität untersucht. Des Weiteren wurde auf die Problematik der Rauheitsmessung der in ihrer Messlänge begrenzten Mikrostrukturen eingegangen und eine Lösung mittels der spektralen Leistungsdichte erarbeitet. | ||
540 | |a Creative Commons |f https://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/ |2 cc |4 https://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/ | ||
546 | |a German | ||
653 | |a Chemisch-mechanisches Planarisieren (CMP) | ||
653 | |a Elektropolieren | ||
653 | |a Plasmapolieren | ||
653 | |a Rauheitsmessung | ||
653 | |a Mikrogalvanoformung | ||
856 | 4 | 0 | |a www.oapen.org |u https://www.ksp.kit.edu/9783866445482 |7 0 |z Get Fullteks |
856 | 4 | 0 | |a www.oapen.org |u https://directory.doabooks.org/handle/20.500.12854/43097 |7 0 |z DOAB: description of the publication |