Entwicklung von Kunststoff-Mikroventilen im Batch-Verfahren
Ziel der vorliegenden Arbeit ist es, die Integration von Materialien in Mikrosysteme zu ermöglichen, welche sich nicht für monolitische Herstellungs- und Integrationsverfahren eignen. Eine aufwändige und somit meist kostspielige Pick-and-Place Montage wird dabei hinsichtlich der wirtschaftlichen...
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| Format: | Book Chapter |
| Published: |
KIT Scientific Publishing
2010
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| Online Access: | Get Fullteks DOAB: description of the publication |
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| Summary: | Ziel der vorliegenden Arbeit ist es, die Integration von Materialien in Mikrosysteme zu ermöglichen, welche sich nicht für monolitische Herstellungs- und Integrationsverfahren eignen. Eine aufwändige und somit meist kostspielige Pick-and-Place Montage wird dabei hinsichtlich der wirtschaftlichen Eignung auch für größerer Stückzahlen durch Übertragungstechniken auf der Waferebene vermieden. Als Demonstratorsystem dient ein Kunststoff-Mikroventil mit einem Aktor aus einer Formgedächtnislegierung. |
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| Physical Description: | 1 electronic resource (IX, 125 p. p.) |
| ISBN: | KSP/1000016593 9783866444966 |
| Access: | Open Access |