Entwicklung von Kunststoff-Mikroventilen im Batch-Verfahren
Ziel der vorliegenden Arbeit ist es, die Integration von Materialien in Mikrosysteme zu ermöglichen, welche sich nicht für monolitische Herstellungs- und Integrationsverfahren eignen. Eine aufwändige und somit meist kostspielige Pick-and-Place Montage wird dabei hinsichtlich der wirtschaftlichen...
Saved in:
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book Chapter |
| Published: |
KIT Scientific Publishing
2010
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Get Fullteks DOAB: description of the publication |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| LEADER | 01574naaaa2200289uu 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | doab_20_500_12854_46609 | ||
| 005 | 20210211 | ||
| 020 | |a KSP/1000016593 | ||
| 020 | |a 9783866444966 | ||
| 024 | 7 | |a 10.5445/KSP/1000016593 |c doi | |
| 041 | 0 | |a German | |
| 042 | |a dc | ||
| 100 | 1 | |a Grund, Thomas |4 auth | |
| 245 | 1 | 0 | |a Entwicklung von Kunststoff-Mikroventilen im Batch-Verfahren |
| 260 | |b KIT Scientific Publishing |c 2010 | ||
| 300 | |a 1 electronic resource (IX, 125 p. p.) | ||
| 506 | 0 | |a Open Access |2 star |f Unrestricted online access | |
| 520 | |a Ziel der vorliegenden Arbeit ist es, die Integration von Materialien in Mikrosysteme zu ermöglichen, welche sich nicht für monolitische Herstellungs- und Integrationsverfahren eignen. Eine aufwändige und somit meist kostspielige Pick-and-Place Montage wird dabei hinsichtlich der wirtschaftlichen Eignung auch für größerer Stückzahlen durch Übertragungstechniken auf der Waferebene vermieden. Als Demonstratorsystem dient ein Kunststoff-Mikroventil mit einem Aktor aus einer Formgedächtnislegierung. | ||
| 540 | |a Creative Commons |f https://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/ |2 cc |4 https://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/ | ||
| 546 | |a German | ||
| 653 | |a Serienfertigung | ||
| 653 | |a Mikrosystemtechnik | ||
| 653 | |a Formgedächtnislegierung | ||
| 653 | |a Ventil | ||
| 653 | |a Aktorik | ||
| 856 | 4 | 0 | |a www.oapen.org |u https://www.ksp.kit.edu/9783866444966 |7 0 |z Get Fullteks |
| 856 | 4 | 0 | |a www.oapen.org |u https://directory.doabooks.org/handle/20.500.12854/46609 |7 0 |z DOAB: description of the publication |