MyFEMOS, Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren
Im Rahmen des BMBF-Verbundprojekts MikroFEMOS wurde eine Fertigungs-Infrastruktur für einen mikrooptischen Abstandssensor entwickelt, die einen deutlichen Schritt nach vorn in Richtung ""Small Equipment for small Parts"" darstellt. Im vorliegenden Beitrag wird dieses System vorg...
Saved in:
Main Author: | |
---|---|
Format: | Book Chapter |
Published: |
KIT Scientific Publishing
2006
|
Subjects: | |
Online Access: | Get Fullteks DOAB: description of the publication |
Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
Internet
Get FullteksDOAB: description of the publication
3rd Floor Main Library
Call Number: |
A1234.567 |
---|---|
Copy 1 | Available |