MyFEMOS, Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren
Im Rahmen des BMBF-Verbundprojekts MikroFEMOS wurde eine Fertigungs-Infrastruktur für einen mikrooptischen Abstandssensor entwickelt, die einen deutlichen Schritt nach vorn in Richtung ""Small Equipment for small Parts"" darstellt. Im vorliegenden Beitrag wird dieses System vorg...
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| Format: | Book Chapter |
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KIT Scientific Publishing
2006
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