Micro- and Nano-Fabrication by Metal Assisted Chemical Etching
Metal-assisted chemical etching (MacEtch) has recently emerged as a new etching technique capable of fabricating high aspect ratio nano- and microstructures in a few semiconductors substrates-Si, Ge, poly-Si, GaAs, and SiC-and using different catalysts-Ag, Au, Pt, Pd, Cu, Ni, and Rh. Several shapes...
Պահպանված է:
| Այլ հեղինակներ: | |
|---|---|
| Ձևաչափ: | Գրքի գլուխ |
| Հրապարակվել է: |
Basel, Switzerland
MDPI - Multidisciplinary Digital Publishing Institute
2021
|
| Խորագրեր: | |
| Առցանց հասանելիություն: | Get Fullteks DOAB: description of the publication |
| Ցուցիչներ: |
Ավելացրեք ցուցիչ
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
|
Համացանց
Get FullteksDOAB: description of the publication
3rd Floor Main Library
| Դասիչ: |
A1234.567 |
|---|---|
| Պատճեն 1 | Հասանելի է |